2X雙級旋片式真空泵工作原理及選型應(yīng)用

2X雙級旋片式真空泵結(jié)構(gòu)及原理：
    圖1是2X旋片式真空泵泵原理圖，轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切，轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)，帶動轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動,把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個容積,并且周期性的大小變化,當(dāng)在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進氣嘴進入泵內(nèi),同時B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因為油是淹住排氣門的,故能防止氣體返回真空室。當(dāng)抽氣壓強較高時,高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級泵,當(dāng)真空度較高時,全部氣體進入真空室,再由排氣閥門10排出,此時二級串聯(lián)即進入雙級泵工作。

    如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時，在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強時，此時蒸氣被壓縮成為液體，旋片式真空泵無法排出，而混在真空油內(nèi)，使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣，使蒸汽在受到壓縮時，其分壓強也低于泵溫的飽和壓強，則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去，故本系列2X-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖1。
  
                                 圖1:2X型真空泵工作原理圖

2X系列的各種真空泵的外形和結(jié)構(gòu)是基本相同的，泵由電機經(jīng)三角皮帶傳動到轉(zhuǎn)子。電動機和泵用螺釘卡板固定在底盤上。
2X真空泵由泵體、高轉(zhuǎn)子、低轉(zhuǎn)子、前端板、后端板、高轉(zhuǎn)片、低轉(zhuǎn)片、排氣閥、排氣罩、視鏡等零部件組成。見圖2、圖3。在體內(nèi)壓入一個中隔板、將真空泵殼分成高低真空室，各室都有排氣門，高真空室排氣與低真空氣相通。高轉(zhuǎn)子前端伸出前軸；后端伸出后軸。前軸通過前端板的軸承支持、經(jīng)過油密封室而伸出前端板外：后軸由中隔板上的軸承支持。而伸入低真空室內(nèi)，低真空室轉(zhuǎn)子則裝在后軸上、故高低轉(zhuǎn)子均由前軸帶動。高低轉(zhuǎn)子都有對開的槽子，呈“T”形的旋片由彈簧支撐開而裝于槽內(nèi)。2X實驗室旋片式真空泵的進氣口處有過濾網(wǎng)，而排氣口處有擋油網(wǎng)，視鏡左邊有摻氣閥，下邊有放油塞。

圖2:2X真空泵的結(jié)構(gòu)圖

                         圖3:2X真空泵剖面圖

2X旋片式真空泵抽氣過程：見圖2，氣體由進氣嘴進入高真空室，起初是高壓強，高低真空室都充滿大氣，兩個排氣門都打開排氣。隨著抽氣的進行，氣壓下降（即真空度提高），高真空室壓力不足以推開排氣門，氣體經(jīng)中隔板進入低真空室，此時壓力亦不足推開排氣門，但低真空室進入有一定量油，幫助推開排氣門，氣體亦隨之排出。排出的氣體平雜著的油粒，經(jīng)擋油網(wǎng)濾而使油分離，只有氣體排出泵外，氣體路徑見圖2。
2X真空泵油密封室里的油，由油池A經(jīng)前端板上的孔供給。低真空室里的油，由油池A經(jīng)后端板上的孔供給。高真空室的油，由中隔板上的孔，循環(huán)供給。2X真空泵前后端蓋的密封是由泵體上部的油池B經(jīng)泵體端面室的孔而流入油槽進行密封。

2X雙級旋片式真空泵性能參數(shù)表：